本書綜合了國內(nèi)外薄膜光學(xué)和薄膜技術(shù)的研究內(nèi)容、體系，最新的薄膜技術(shù)與理論發(fā)展成就，及時將新技術(shù)融入本教材，針對相關(guān)專業(yè)特點，構(gòu)建了全面且富有特色的內(nèi)容體系。在論述過程中注重基本概念的闡述，敘述深入淺出，注意原理與技術(shù)相聯(lián)系，理論與實踐相結(jié)合。全書共有8章。第1-4章，主要介紹薄膜光學(xué)的基本理論和特性設(shè)計與計算基礎(chǔ)，并著重介紹減反射膜、高反射膜、分束鏡和濾光片等幾種實用光學(xué)器件的設(shè)計理論；第5章對常見的薄膜制備方法的基本原理與方式進行詳細(xì)介紹，對膜層厚度分布、膜厚監(jiān)控和測試方法進行介紹；第6章對薄膜生長過程、生長模式、生長機理及薄膜的結(jié)構(gòu)和缺陷等問題進行詳細(xì)討論；第7章探討薄膜的表面和界面問題；第8章對薄膜的光學(xué)常數(shù)、光學(xué)性能、薄膜成分、薄膜結(jié)構(gòu)及薄膜附著力等特性測試方法進行闡述；第9章介紹幾種當(dāng)前研究熱點的薄膜材料體系。